氮?dú)饧兓O(shè)備是以變壓吸附制得的粗氮為質(zhì)料，經(jīng)加氫催化除氧，冷凝水吸附兩級(jí)枯燥除塵，去除氮?dú)庵械难?、水汽和塵土等雜質(zhì)，然后獲得高純度的氮?dú)?。其人口的粗氮純度需?ge;98％，出口精氮的純度≥99．999％，氧含量≤3μm，露點(diǎn)≤-65℃。

氮?dú)饧兓O(shè)備的原理如圖所示。

第一步是除氧。粗氮與增加的氫氣相混合后進(jìn)人除氧器，在催化劑的效果下，使粗氮中的雜質(zhì)氧與氫反響生成水汽，除氧器溫度控制在80～100℃，這樣可使反響生成的水汽全部被氣流帶走，然后確保催化劑不致遭到水汽影響而中毒，可無(wú)需再生處置長(zhǎng)期使用。

?

第二步是冷凝除塵，氮?dú)夂退韧ㄟ^(guò)水冷卻器冷卻到常溫，然后進(jìn)入冷凍式枯燥器進(jìn)一步冷卻到露點(diǎn)以下，再進(jìn)入汽水分離器，除掉氣體中冷凝下來(lái)的冷凝水。

第三步是深度枯燥。經(jīng)冷凝除濕后的氮?dú)獾穆饵c(diǎn)依然不能滿足需要，有必要持續(xù)進(jìn)入分子篩吸附枯燥器深度枯燥，除掉微量的水分，使露點(diǎn)進(jìn)一步降低到規(guī)劃的需求。

第四步是過(guò)濾除塵?？菰镂胶蟮牡?dú)庠偻ㄟ^(guò)氣體過(guò)濾器，除掉分子篩粉末等雜質(zhì)，便得到高純度、潔凈的精氮，直接輸送到爐區(qū)作安全氣、密封氣，或與氫氣混合后作為維護(hù)還原氣體。