空氣經(jīng)過深冷制氮機的過濾器、緊縮機、冷卻器、油水別離器、空氣預(yù)冷器、分子篩吸附器后進入分餾塔、利用液氧、液氮沸點不一樣進行別離氧氣和氮氣，得到高純度氮氣。深冷制氮機運行時間長，削減維修量，全低壓流程、節(jié)能，全鋁分餾塔、不漏氣，進口空壓機和冷凍機組。

　　深冷制氮機的全部深冷制氮的全部流程由三個有些構(gòu)成的，即空氣緊縮及凈化、空氣別離、液氮汽化。

　　1.空氣緊縮及凈化

　　深冷制氮是空氣經(jīng)空氣過濾器鏟除塵埃和機械雜質(zhì)后進入空氣緊縮機，緊縮至所需壓力，然后送入空氣冷卻器，下降空氣溫度。再進入空氣枯燥凈化器，除去空氣中的水份、二氧化碳、乙炔及其它碳氫化合物。

　　2.空氣別離

　　凈化后的空氣進入空分塔中的主換熱器，被返流氣體(產(chǎn)品氮氣、廢氣)冷卻至飽滿溫度，送入精餾塔底部，在塔頂部得到氮氣，液空經(jīng)節(jié)省后送入冷凝蒸發(fā)器蒸發(fā)，一起冷凝由精餾塔送來的有些氮氣，冷凝后的液氮一有些作為精餾塔的回流液，另一有些作為液氮產(chǎn)品出空分塔。

　　由冷凝蒸發(fā)器出來的廢氣經(jīng)主換熱器復(fù)熱到約130K進脹大機脹大制冷為空分塔提供冷量，脹大后的氣體一有些作為分子篩的再生和吹冷用，然后經(jīng)消音器排入大氣。

　　3.液氮汽化

　　由深冷制氮設(shè)備空分塔出來的液氮進液氮貯槽儲存，當(dāng)空分設(shè)備維修時，貯槽內(nèi)的液氮進入汽化器被加熱后，送入產(chǎn)品氮氣管道。 深冷制氮可制取純度≧99.999%的氮氣。