原料空氣經(jīng)空氣壓縮、凈化，進入精細過濾器,經(jīng)過螺旋、凝集、表面三級過濾除掉大多數(shù)液態(tài)水和油污，然后進入冷凍式干燥機，由冷媒壓縮機制冷體系將壓縮空氣的壓力露點降至2～3℃，除掉很多的水分，之后進入超精過濾器，進一步除掉壓縮空氣中含有的固體顆粒，使壓縮空氣質(zhì)量到達0.01μm，接著進入一臺活性碳罐,除掉大多數(shù)的油類、烴類等，由此經(jīng)過空氣緩沖罐進入兩個填裝有吸附劑的變壓吸附別離體系，即NGN-110D型制氮機組。潔凈的壓縮空氣由吸附塔底端進入，氣流經(jīng)空氣擴散器擴散今后，均勻進入吸附塔，進行氧氮吸附別離，然后從出口端流出氮氣，進入氮氣緩沖罐，這一產(chǎn)氮進程約1分鐘，之后經(jīng)均壓和減壓（至常壓），脫除所吸附的雜質(zhì)組分（主要為氧氣），完結(jié)吸附劑的再生。兩個吸附塔交替循環(huán)操作，接連送入質(zhì)料空氣，接連生產(chǎn)純度≥99.9%；產(chǎn)值≥110Nm3/h；壓力0.6 MPa（可調(diào)）；露點≤-40℃的氮氣。

從制氮機出來的氮氣，經(jīng)熱交換器和加熱器加熱到必定溫度今后，進入填充碳催化劑的脫氧器，碳和氮氣中的余氧反響生成二氧化碳和微量的水，再進入高效冷卻器降到常溫，再經(jīng)過填充了分子篩的吸干機除掉二氧化碳和水分，最終經(jīng)過高純氮氣緩沖罐，精細過濾器得到高純度氮氣，氮氣純度≥99.999%；產(chǎn)值為≥100Nm3/h；出口溫度≤40℃，壓力0.5 MPa（可調(diào)）氮氣常壓露點-70℃。